石英管的原料為高純度石英材料，它界定了反應的范圍并使反應均勻，用于做真空chamber用。石英管結合前后蓋板，提供了一個密封的反應腔，起到一個窗口的作用，本身并不產生等離子體，等離子是兩邊的微波源與銅波導管產生的。
為什么需要定期更換石英管?
氮化硅膜的厚度，折射率會直接影響到太陽能電池片吸光系數、少子壽命、轉換效率燈。等離子氣體以一定流量穿透石英管進入工藝腔的過程中會有部分的能量損失，隨著鍍膜時間的推移，石英管表面會附著越來越厚的Si3N4，而等離子在穿透過程中將損失越來越多的能量，直至無法穿透石英管及附著的Si3N4層，這樣會影響石英管的激發效果，影響鍍膜均勻性和效率。不便于調節反應參數，因此必須定期更換石英管，也就是起到一個“擦窗戶”的效果，有效的減少了等離子體的能量損失，從而更高效的配合工藝腔內的化學反應。一般來講，石英管的更換周期一般在４～６天，也就是說至少每周都需要更換腔體內石英管以保證其正常的鍍膜效果。
